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关于蚀刻状态不相同的问题

大量涉及蚀刻面的问题都集中在上板面被蚀刻的部分, 而这些问题来自于蚀刻剂 所产生的胶状板结物的影响。 对这一点的了解是十分重要的, 因胶状板结物堆积在铜表面 上﹐一方面会影响喷射力﹐另一方面会阻档了新鲜蚀刻液的补充﹐使蚀刻的速度被降低。 正因胶状板结物的形成和堆积, 使得基板上下面的图形的蚀刻程度不同, -入的基板因 堆积尚未形成﹐蚀刻速度较快, 故容易被-地蚀刻或造成过腐蚀﹐而后进入的基板因堆 积已形成﹐而减慢了蚀刻的速度。2:铝牌填漆,我上了漆以后用-清理周边的多余漆,整版颜色都不白了啊。



条宽损失 (etch bias) 过蚀刻 (over etch) – 在平均膜厚完全蚀刻掉以后的额外蚀刻。补偿蚀刻速率和膜厚的不均匀 性。 残留物 (residues) – 在蚀刻和平版印刷过程中无意留下的物质。 微掩膜micro-masking-- 由于微粒,薄膜掺杂以及残留物产生的无意留下的掩膜。 糊胶resist reticulation-- 温度超过 150 摄氏度时光刻胶产生的燃烧和折皱。(二)制作的工艺流程不锈钢板***脱脂除油***清洗***烘干***涂保护涂料***-***修补***移印***刻形***蚀刻***清洗***切边***清理***填充***罩透明漆***干燥***成品。 纵横比aspect ratio-- 器件结构横截面-和宽度的比率。



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